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12寸，0.5寸单芯片就足够了。
为什么不需要额外光罩，因为用的是可以重复使用的光罩库。
而且在制程上，可以直达3nm！
一条清晰的脉络瞬间贯通。
陈飞看着全息影像中的迷你晶圆厂运行，不得不赞叹，这个构思实在太巧妙了。
如果RB人真的如此做，那么在接下来的竞争中，他们的反扑将会非常凌厉。
同样的，如果陈飞掌握了这项技术，那么在制程竞争中，就会迅速反超。EUV的波长很短，只有13.5nm，intel和台积电都还没用上EUV呢。但是电子束的波长更短！
波长短，就更容易开发出先进制程。
陈飞来回巡视着，最终将目光停留在电子束光刻机上。
他说道：“教授，电子束光刻机才是关键啊。”
连学志神色也严肃起来，说道：“是的，电子束很好，但是它太慢了，之前一直只能在实验室中应用。RB人的数据却不同，他们的速度，起码是1分钟1片的速度，太夸张了，我不知道他们是如何做到的。或许他们不是用电子束？”
说到后面，连学志居然自我怀疑起来。
陈飞忽然笑了，坚决地说道：“不管RB人是不是用电子束，我已经决定要用它了！我们就走这条路！教授，我需要一支完整的芯片工艺开发团队，您能不能帮我招募，如果您能领衔参与，那就更好了。”
连学志说道：“电子束的工艺开发，比起光刻来说，容易很多。不过设备这一块，我就不行了。”
陈飞躬身道：“那就拜托您了。”
事情终于有了眉目，陈飞稍微松了口气。
目前所有的问题，都集中在电子束光刻机身上。
有个好消息就是，国内目前有顶尖的电子束光刻机设备商，虽然是收购来的。
博康收购了英国NBL电子束光刻机，而且把生产线搬到了国内。
坦率的讲，陈飞不知道他们是怎么完成此项壮举的。
不过也不需要了解，只要能买到设备就行了。
NBL的电子束光刻机，直写的速度同样很慢，事实上目前市面上出售的所有电子束光刻机，直写速度都极慢。
是极慢！不是慢。比起光刻来，需要的时间，多了最少一百倍。
但是RB的速度，是1分钟1片，只比普通光刻稍微多了一点，实在太快了，让人不敢相信用的是电子束。这也是唯一矛盾的地方。
不过陈飞不想深究这个问题，还是那句话，不管RB用的究竟是什么技术，他已经决定用电子束！
因为相比起其他人，他的最大优势，就是掌控电子和原子的能力。
哪怕花掉身上所有的灰雾能量和白雾能量，也要将快速电子束光刻机研究出来。
这项技术，是真正的弯道超车。
问题主要是，如果真的做出来怎么解释？他不可能同时精通那么多领域，会被人怀疑的。
12寸，0.5寸单芯片就足够了。
为什么不需要额外光罩，因为用的是可以重复使用的光罩库。
而且在制程上，可以直达3nm！
一条清晰的脉络瞬间贯通。
陈飞看着全息影像中的迷你晶圆厂运行，不得不赞叹，这个构思实在太巧妙了。
如果RB人真的如此做，那么在接下来的竞争中，他们的反扑将会非常凌厉。
同样的，如果陈飞掌握了这项技术，那么在制程竞争中，就会迅速反超。EUV的波长很短，只有13.5nm，intel和台积电都还没用上EUV呢。但是电子束的波长更短！
波长短，就更容易开发出先进制程。
陈飞来回巡视着，最终将目光停留在电子束光刻机上。
他说道：“教授，电子束光刻机才是关键啊。”
连学志神色也严肃起来，说道：“是的，电子束很好，但是它太慢了，之前一直只能在实验室中应用。RB人的数据却不同，他们的速度，起码是1分钟1片的速度，太夸张了，我不知道他们是如何做到的。或许他们不是用电子束？”
说到后面，连学志居然自我怀疑起来。
陈飞忽然笑了，坚决地说道：“不管RB人是不是用电子束，我已经决定要用它了！我们就走这条路！教授，我需要一支完整的芯片工艺开发团队，您能不能帮我招募，如果您能领衔参与，那就更好了。”
连学志说道：“电子束的工艺开发，比起光刻来说，容易很多。不过设备这一块，我就不行了。”
陈飞躬身道：“那就拜托您了。”
事情终于有了眉目，陈飞稍微松了口气。
目前所有的问题，都集中在电子束光刻机身上。
有个好消息就是，国内目前有顶尖的电子束光刻机设备商，虽然是收购来的。
博康收购了英国NBL电子束光刻机，而且把生产线搬到了国内。
坦率的讲，陈飞不知道他们是怎么完成此项壮举的。
不过也不需要了解，只要能买到设备就行了。
NBL的电子束光刻机，直写的速度同样很慢，事实上目前市面上出售的所有电子束光刻机，直写速度都极慢。
是极慢！不是慢。比起光刻来，需要的时间，多了最少一百倍。
但是RB的速度，是1分钟1片，只比普通光刻稍微多了一点，实在太快了，让人不敢相信用的是电子束。这也是唯一矛盾的地方。
不过陈飞不想深究这个问题，还是那句话，不管RB用的究竟是什么技术，他已经决定用电子束！
因为相比起其他人，他的最大优势，就是掌控电子和原子的能力。
哪怕花掉身上所有的灰雾能量和白雾能量，也要将快速电子束光刻机研究出来。
这项技术，是真正的弯道超车。
问题主要是，如果真的做出来怎么解释？他不可能同时精通那么多领域，会被人怀疑的。